更新日： 集計期間:2025年08月13日～2025年09月09日
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ダブルホーク採用！ワークの搬入や投入時間を短くすることが可能な搬送ロボット！
株式会社システム技研の『大型FPD液晶基板搬送ロボット』は、 液晶分野関連製品の搬送ロボットです。 ダブルホークにより、ワークの搬出・投入タイムを最短にすることが 可能になっていて、さらに、プロセス機のプロセスタイムを有効に 活用することができます。 その他にも第5.5世代液晶基板に対応する「大型液晶基板搬送ロボット」や、 液晶基板カセットの保管・管理を行う「AGVステーション」などの 液晶分野関連製品を当社でご用意しております。 【特長】 ■液晶分野関連製品 ■ワークの搬出・投入タイムを最短にすることが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモータ仕様旋回 ■上下軸：サーボモータ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております！
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください。
ジェーイーエルは、1993年の創立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶硝子基板搬送用ロボットの専業メーカーとして、お客様のより良い製品づくりのお手伝いをして参りました。おかげさまで国内外1,800社を超えるお客様とお取引をいただいており、確かな実績と高い品質が「搬送ロボットはジェーイーエル」と言わる所以です。 弊社では生産システムと連携して一貫した工程管理を行い、短納期を実現しております。自社開発の生産システム（JOISYS）により受注情報、発注情報、在庫管理、工程管理情報、品質管理、開発情報、製品出荷情報を一元管理し、迅速な情報伝達及び納期管理と品質向上を実現しています。自社で開発設計から製品評価を短期間で完結できる社内体制を持ち、業界トップレベルのコストパフォーマンスに優れた製品の開発を中心に物つくりを行っております。また、ジェーイーエルの最大の強みはカスタマイズ対応力です。お客様のニーズを迅速に捉え、低コスト且つタイムリーな物つくりをモットーに柔軟に対応しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロボット
『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
高精度＆高剛性！ 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
P&P SYSTEM
人と機械のインターフェイス。 システム技研より、P&PSYSTEM商品のご紹介です。 ■□■ラインナップ■□■ ■容器検査装置 ■電子部品検査装置 ■管内面形状計測ロボット ■大型FPD基板搬送ロボット ■AGVステーション ■スタッカークレーン ■電子部品組立装置 ■自動仕分け装置 その他機能や詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。
自動搬送ロボットPuduBotがハードディスク基板メーカーの品質検査工程において、検査サンプルの運搬に活用されている様子を紹介！
PuduBotは最大積載量30kgの自動搬送ロボットです。 施設内での煩雑な運搬作業を自動化することで、省力化・効率化を実現します。 今回はBellaBotがハードディスク基板メーカーで活用されている様子を紹介します。
クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】
真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応） ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします
株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から 製作・組立までを一貫して承ります。 半導体装置メーカーへの納入実績27年。 真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。 また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を 整えております。 【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
